газы и газовые смеси
в баллонах под давлением
в баллонах под давлением
| Марка | 3.0 | 2.5 | 2.0 |
| Молярная доля, % | 99.9 - 99.94 | 99.5 - 99.8 | 99.0 - 99.4 |
| Марка |
Концентрация, молярная доля, % |
Примеси, молярная доля, % |
| 2.5 | 99.5 - 99.8 |
Примеси установлены и соответствуют требованиям ТУ 2114-045-03535913-2008 |
| Марка |
Концентрация, молярная доля, % |
Примеси, молярная доля, % |
| 3.0 | 99.9 - 99.94 |
массовая доля нелетучего остатка < 0.01 массовая доля As < 0.000004 H2O < 0.02 В соответствии с ГОСТ 2918-79 |
| 2.5 | 99.5 - 99.8 |
массовая доля нелетучего остатка < 0.01 массовая доля As < 0.00002 H2O < 0.1 |
| Марка |
Концентрация, молярная доля, % |
Примеси, молярная доля, % |
| 3.0 | 99.9 - 99.94 |
O2+N2+air < 0.05 CF4 < 0.05 H2O < 0.0015 кислотность в пересчете на массовую долю фтористого водорода [HF] < 0.0001 массовая доля гидролизуемых фторидов в пересчете на массовую долю фтористого водорода [HF] < 0.00003 |
